技術(shù)參數(shù)
| 參數(shù)類別 | 參數(shù)詳情 |
|---|
| 最小可測量粒徑 | 10μm |
| 粒度分級 | 10μm、30μm、50μm、100μm，可在11～99μm范圍內(nèi)任意設(shè)定值 |
| 兼容晶圓尺寸 | 4英寸 |
| 最大測量面積 | φ80mm |
| 修剪功能 | 有 |
| 顯示切換 | 有（可單獨顯示） |
功能特點
粗顆粒測量
DTSP10-03 是一種特殊的測量裝置，可以測量落塵而不是浮塵，對10μm以上的粗顆粒進行分類和計數(shù)。這與傳統(tǒng)的顆粒計數(shù)器不同，后者主要用于測量空氣中漂浮的微小顆粒，而無法有效測量導(dǎo)致附著異物的較大粗顆粒。
高效采樣與分析
該設(shè)備利用樣品收集板（4英寸硅片），利用粗顆粒的沉降特性，對下落的10μm以上的粗顆粒進行分級計數(shù)。這種測量方式可以在任何可以放置硅晶圓的地方進行評估，提高了測量的靈活性和適用性。
數(shù)據(jù)管理
測量結(jié)果可以在PC上顯示和保存，便于進一步分析和記錄。這使得用戶能夠更好地管理和分析落塵數(shù)據(jù)，從而采取有效的對策減少產(chǎn)品上附著的異物量。
應(yīng)用場景
無塵室管理
即使在無塵室中工作，異物的量也可能不會減少。DTSP10-03 可以幫助識別和管理這些異物，確保無塵室的清潔度。通過測量落塵而不是漂浮的灰塵，可以更有效地管理附著的異物。
產(chǎn)品質(zhì)量控制
在電子、半導(dǎo)體等對清潔度有要求的行業(yè)中，DTSP10-03 可用于檢測產(chǎn)品表面或生產(chǎn)環(huán)境中的落塵，從而提高產(chǎn)品質(zhì)量和可靠性。
環(huán)境監(jiān)測
該設(shè)備還可以用于監(jiān)測高溫爐內(nèi)、運行中的傳送帶等難以接近的區(qū)域的灰塵附著情況。這有助于及時發(fā)現(xiàn)和解決潛在的污染問題，保護設(shè)備和人員的安全。
日本 NCC 落塵計數(shù)器 DTSP10-03 憑借其對10μm以上粗顆粒的精準測量能力、高效的采樣與分析功能以及廣泛的應(yīng)用場景，在無塵室管理、產(chǎn)品質(zhì)量控制和環(huán)境監(jiān)測等領(lǐng)域表現(xiàn)出色，是現(xiàn)代工業(yè)和科研中的測量工具。
更新時間：2025-10-27 
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