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導電薄膜膜厚分布評估低電阻率自動測定儀

導電薄膜膜厚分布評估低電阻率自動測定儀
對導電薄膜、金屬膜、ITO 玻璃等樣品進行“表面電阻率 Ω/□"與“體積電阻率 Ω·cm"二維 mapping，快速可視化膜厚/組分均勻性。

  • 產品型號：MCP-S330型
  • 廠商性質：經銷商
  • 更新時間：2025-11-21
  • 訪  問  量：19
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詳細介紹

導電薄膜膜厚分布評估低電阻率自動測定儀

導電薄膜膜厚分布評估低電阻率自動測定儀
MCP-S330 型 低電阻率自動測定系統(tǒng)（小型 Mapping 系統(tǒng)）

用途：對導電薄膜、金屬膜、ITO 玻璃等樣品進行“表面電阻率 Ω/□"與“體積電阻率 Ω·cm"二維 mapping，快速可視化膜厚/組分均勻性。
二、核心
  1. 全自動 Mapping
    • 最大 300 mm × 300 mm 樣品，可任意設定測量點數(shù)與間距（最小 1 mm）。
    • 支持多片連續(xù)自動測定，無需人工移動樣品。
  2. 與桌面主機“Loresta-GX II MCP-T710"聯(lián)動
    • 覆蓋 10?? – 10? Ω 低阻量程，四探針/環(huán)形電極一鍵切換。
    • 數(shù)據(jù)實時回傳，自動完成 ρs、ρv 計算。
  3. 一鍵生成 3D 分布圖
    • 軟件內置 3D 色階圖、等高線、 histogram 統(tǒng)計，膜厚不均、摻雜不均“一目了然"。
  4. 不受樣品形狀影響
    • 四探針單元帶彈簧緩沖與微調平臺，曲面、翹曲片亦可貼合測量。
  5. 高速定位
    • 步進電機 + 線性導軌，單點移動 ≤ 0.7 s；整片 10×10 點＜ 3 min 完成。
  6. 數(shù)據(jù)追溯
    • 每點保存坐標、電阻值、探針系數(shù)、溫濕度，可輸出 CSV 報告，對接 SPC 系統(tǒng)。
三、典型應用
  • 液晶/有機 EL 用 ITO 玻璃、金屬網格（AgNW、Cu mesh）電極均勻性評價
  • 柔性薄膜太陽能電池、5G 透明天線膜、EMI 屏蔽膜工藝優(yōu)化
  • 晶圓級金屬薄膜（Al、Cu、TiN）電鍍或濺射后均勻性確認
  • 觸控面板、電子紙、加熱膜等導電薄膜來料檢驗與失效分析


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